【新品上市】超音波微少液体流量计
用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制
・1ml/min以上的微流量测量
・通过数字信号处理进行高精度微流量测量
・传感器部不与被测部件接触流体
・宽范围
产品规格
■ 微小液体流量计（传感器分离型）
μLF-300S
| 模型 | μLF-300S + μLT-8I（1/8 英寸）または μLF-300S + μLT-4I（1/4 英寸） |
| 测量原理 | 超声波传播时间差法 |
| 被测定液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 如果使用水以外的液体，请事先确认。 |
| 适用流体温度范围 | 15°C 至 80°C *如果在 60°C 或更高温度下使用，请提前检查 |
| 流体压力 | 0.5MPa 以下 |
| 流体动粘度 | 100mm^2/sec 以下 |
| 流量范围 | 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) |
| 测量精度 | ±0.5%RD (1/8 英寸：200 ~ 1000ml/min 条件：室温、恒温水) ±1ml/min (1/8 英寸：0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4 英寸：0 ~ 199ml/min) 800～4000ml/min 条件：室温、恒温水） ±4ml/min（1/4英寸：0～799ml/min） |
| 重复性 | ±0.2%（纯品，液温±0.5℃，30秒平均值） |
| 电源 | 直流24V±10% |
| 消费电力 | 3.6W以下 |
| 重量 | 传感器240g，探测器70g |
| 尺寸 宽x高x深(毫米) | 传感器 97 x 49 x 127 检测器 90 x 25 x 20（不含管） |
| 检测单元 | |
| 管材 | PFA（氟树脂） |
| 管径 | 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米 |
| 结构 | IP65相当 |
| 附带电缆 | 5m，连接器连接 |
| 输入部分 | |
| 数字输出 | 4线式RS-422, 4线式RS-485 |
| 模拟输出 | 4-20mA (瞬时流量), 负荷抵抗500Ω以下 |
| 集成脉冲输出 | 1ch（集电极开路） |
| 报警输出 | 1ch（集电极开路） |
| 接点输入 | 1ch（零流量设定或累计清零） |
| 按键输入 | 4 输入按钮 |