【新品上市】超声波微液体流量计

 用于IPA、纯水、药液等半导体制造工序中微小区域的流量控制


测量1ml/min以上的微小流量
利用数字信号处理高精度测量微小流量
传感器结构部件不与流体接触
范围广
 
产品规格
■微小液体流量计(传感器分离型)

μLF-300S

模型 μLF-300S + μLT-8I(1/8 英寸)或 μLF-300S + μLT-4I(1/4 英寸)
测量原理 超声波传播时间差法
待测液体 纯水、水溶液、各种化学溶液
* 使用水以外的液体时,请事先确认。
适用流体温度范围 15℃~80℃
*60℃以上使用请提前确认
流体压力 0.5MPa以下 
流体运动粘度 100mm^2/秒或更小 
流量范围 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I)
0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 (μLF-300S + μLT-8I)
测量精度 ±0.5%RD(1/8英寸:200~1000ml/min 条件:室温、恒温水)
±1ml/min(1/8英寸:0~199ml/min)
±0.5%RD(1/4英寸:0~199ml/min) 800~4000ml/min 条件:室温、恒温水)
±4ml/min(1/4英寸:0~799ml/min)
重复性 ±0.2%(纯品,液温±0.5℃,30秒平均值) 
电源 直流24V±10%
能量消耗 3.6W以下
重量 转换器240g,检测器70g 
尺寸 宽x高x深(毫米) 转换器 97 x 49 x 127
检测器 90 x 25 x 20(不含管)
检测单元
管材 PFA(氟树脂)
管径 1/8 英寸外径:3.17 毫米,内径:2.17 毫米,1/4 英寸外径:6.35 毫米,内径:4.35 毫米
结构 相当于IP65
附带电缆 5m,连接器连接
输入部分
数字输出 4 线 RS-422、4 线 RS-485 
模拟输出 4-20mA(瞬时流量),负载电阻500Ω以下 
集成脉冲输出 1ch(集电极开路) 
报警输出 1ch(集电极开路)
接点输入 1ch(零流量设置或积分清除)
按键输入 4个输入按钮